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JPC磁控鍍膜系列

作者:甘肅真空設(shè)備有限公司時(shí)間:2022-09-22點(diǎn)擊:8879次

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※ 系列產(chǎn)品參數(shù)

型號(hào)項(xiàng)目

JPC-800L

JPC-1200

JPC-2000

  極限真空度   Pa

5.0×10-4 (清潔、干燥、空載)

  恢復(fù)真空時(shí)間  Pa

18(從大氣~10-2Pa)

  基材

PET、PVC、PE等

  有效鍍幅    mm

800

1200

2000

  最大卷徑    mm

Φ350~Φ600

  鍍膜速度   m/min

0.5~10

  磁控靶數(shù)目    只

3~5

  靶材    

ITO、鋁、銅、鎳、鈦、二氧化硅等

  濺射壓力    Pa

1~0.1

  濺射電壓    V

300~600(D.C或MF)

  工作氣體

Ar、 O2純度99.99%

  氣體流量控制方式

質(zhì)量流量控制器


 


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